英特神斯软件及模块(15002924)

发布时间:2018-03-05浏览次数:43

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仪器名称

英特神斯软件及模块

英文名称

IntelliSuite Software

规格/型号

国产设备/IntelliSuite

生产厂商

江苏英特神斯科技有限公司

国别

中国

所属单位

物联网(感知矿山)研究中心

放置地点

物联网中心A206

负责人

马洪宇 联系电话:13952186103 邮箱:0

使用日期

2016/2/2

电子邮箱

0

性能指标

器件级:可进行静态、动态、瞬态和频域等不同类型下热、静电、机械、热--电耦合、流-固耦合分析;

工艺级:结合材料、版图和工艺流程,创建器件的三维虚拟模型,输出到TEM模块进行分析;

系统级:应用于多领域、多尺度的MEMS和纳米技术系统级设计工具,是有效进行的CMOS-MEMS的器件、电路综合设计的优良工具,可以实现MEMS-IC整体设计。与IntelliSuite其它模块结合,构建具有创造性的系统综合设计平台;

建模工具:设计工具有:高级版图编辑模块、设计规则检查工具、三维建模模块和网格划分工具。

主要应用

MEMS微结构进行三维建模、器件级分析、工艺级分析和系统级分析。

样品要求

仪器说明

IntelliSuite软件能够进行微结构的三维建模、版图设计、工艺过程模拟、干法湿法刻蚀模拟、原子级别腐蚀模拟、利用有限元、边界元等方法对微结构进行多物理量()耦合分析,以及MEMS-IC的系统级分析仿真。为MEMS器件设计提供完整的解决方案。

学习资料

纸质:Intellisuite、二维三维建模、器件级分析、工艺级分析、系统级分析。