新型MEMS传感器

采用MEMS技术研制的甲烷气体新型传感元件，具有自主知识产权。元件功耗低、灵敏度高、灵敏度稳定性好、寿命高、抗污染等优点。还可批量生产、并具有批量校准的潜力。对于矿山、家用、地下管囊等场合的甲烷气体检测具有极大的应用潜力。也可用于其它场合的特定气体的检测。

元件面积<1mm2，功耗<80mW，灵敏度>15mV；响应时间<30ms。