| |||
仪器名称 | |||
英文名称 | |||
规格/型号 | 国产设备/CIA800-3D | ||
生产厂商 | 上海江文国际贸易有限公司 | ||
国别 | 中国 | ||
所属单位 | 物联网(感知矿山)研究中心 | 放置地点 | 安全谷A815 |
负责人 | 马洪宇 | ||
使用日期 | 2016/2/2 | 电子邮箱 | 0 |
性能指标 | 电动Z轴聚焦扫描器：最小步进2nm，带动显微镜后最小步进0.1um； 扫描后景深范围：5倍放大26mm，100倍放大20mm，200倍放大808mm，500倍放大3.6mm，1000倍放大0.4mm； 软件UMS300-P3-3D,自动超景深照片，自动3D形貌，3D测量。 | ||
主要应用 | 应用于半导体、微纳米器件、机械制造、材料研究等领域的实验研究；如微芯片三维形貌分析，刻蚀试样三维形貌，封装材料，二元光学器件数据分析，机械、光学、镀膜、热处理等表面精确测量、材料显微压痕的三维测量分析 | ||
样品要求 | |||
仪器说明 | CIA800-3D三维超景深显微镜可获得样品的三维形貌，并可进行三维重构和测量，可应用于半导体、微纳米器件、机械制造、材料研究等领域的实验研究；如微芯片三维形貌分析，刻蚀试样三维形貌，封装材料，二元光学器件数据分析，机械、光学、镀膜、热处理等表面精确测量、材料显微压痕的三维测量分析、磨损表面质量评定、薄膜厚度测量、材料断口分析、金属材料和复合材料、生物材料研究等。 | ||
学习资料 | |||
