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仪器名称 |
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英文名称 | IntelliSuite Software | ||
规格/型号 | 国产设备/IntelliSuite | ||
生产厂商 | 江苏英特神斯科技有限公司 | ||
国别 | 中国 | ||
所属单位 | 物联网(感知矿山)研究中心 | 放置地点 | 物联网中心A206 |
负责人 | 马洪宇 联系电话：13952186103 邮箱：0 | ||
性能指标 | 器件级：可进行静态、动态、瞬态和频域等不同类型下热、静电、机械、热-机-电耦合、流-固耦合分析； 工艺级：结合材料、版图和工艺流程，创建器件的三维虚拟模型，输出到TEM模块进行分析； 系统级：应用于多领域、多尺度的MEMS和纳米技术系统级设计工具，是有效进行的CMOS-MEMS的器件、电路综合设计的优良工具，可以实现MEMS-IC整体设计。与IntelliSuite其它模块结合，构建具有创造性的系统综合设计平台； 建模工具：设计工具有：高级版图编辑模块、设计规则检查工具、三维建模模块和网格划分工具。 | ||
主要应用 | 对MEMS微结构进行三维建模、器件级分析、工艺级分析和系统级分析。 | ||
样品要求 | 无 | ||
仪器说明 | IntelliSuite软件能够进行微结构的三维建模、版图设计、工艺过程模拟、干法湿法刻蚀模拟、原子级别腐蚀模拟、利用有限元、边界元等方法对微结构进行多物理量(场)耦合分析，以及MEMS-IC的系统级分析仿真。为MEMS器件设计提供完整的解决方案。 | ||
学习资料 | 纸质：Intellisuite、二维三维建模、器件级分析、工艺级分析、系统级分析。 | ||
