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仪器名称 |
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英文名称 | SEMICONDUCTOR CHARACTERIZATION SYSTEM | ||||
规格/型号 | 进口设备/ 4200-SCS | ||||
生产厂商 | KEITHLEY | ||||
国别 | 美国 | ||||
所属单位 | 物联网(感知矿山)研究中心 | 放置地点 | 物联网中心A210 | ||
负责人 | 马洪宇 联系电话：13952186103 邮箱：0 | ||||
性能指标 | 多种器件测试模式，可快速进行测试设置，具有存储大容量测试结果、保存与输出数据与图形的功能； 配置有C-V模块、能测量3端口器件的I-V功能模块； （1）其中的C-V模块：可测fF至nF级的电容，扫频范围1kHz至10MHz，直流偏置电压至少达±25V（差分模式可达±50V），具有C-V，C-t，C-f 的测量和分析能力，可提取氧化层厚度、栅面积、串联电阻、金属-半导体功函数等参数； （2）I-V模块：配置3个SMU（其中一个高功率模块，两个中功率模块）， 其中的中功率模块测量分辨率1uV/10fA（若加选配件后可达0.1fA），设置分辨率1uV/1.5fA，最大输出至少±200V/±100mA； 高功率模块测量分辨率2uV/100fA，若加选配件后有10nA-1pA量程，设置分辨率1uV/5pA，最大输出200V/100mA； 接口/接线附件，硬盘容量>120GB,带刻录CD驱动器，4个以上USB接口，内置100/10 MB以太网络接口，12英寸以上液晶显示器。 | ||||
主要应用 | 该设备主要应用于半导体器件、封装器件和Wafer的测试与表征、材料的电流-电压曲线测量与电容测量（C-V特性）、可靠性与耐久性测试等测试与表征。 | ||||
样品要求 | 二端、三端、四端电子器件。 | ||||
仪器说明 | 4200-SCS型半导体特性分析系统用于实验室级的器件直流参数测试、实时绘图与分析，具有高精度和亚fA级的分辨率。它提供了最先进的系统集成能力，包括完整的嵌入式PC机，Windows操作系统与大容量存储器。其自动记录、点击式接口加速并简化了获取数据的过程，这样用户可以更快地开始分析测试结果。 | ||||
学习资料 | | ||||
